基于材料沖擊特性的碳化硅超聲磨削機(jī)理及亞表面損傷特征研究

摘要： 碳化硅是空間光學(xué)元件理想材料之一，但其磨削亞表面會(huì)產(chǎn)生較嚴(yán)重的面損傷，影響光學(xué)元件生產(chǎn)效率、性能發(fā)揮及使用壽命。為了更好地控制碳化硅超聲磨削亞表面損傷，開(kāi)展了超聲輔助磨削數(shù)值仿真和試驗(yàn)研究，建立磨粒的運(yùn)動(dòng)軌跡方程，研究加工參數(shù)對(duì)運(yùn)動(dòng)學(xué)特性的影響規(guī)律，分析超聲振動(dòng)輔助對(duì)磨削過(guò)程材料去除的影響機(jī)理，討論加工參數(shù)影響下的碳化硅超聲磨削去除機(jī)理和亞表面損傷特征，建立亞表面損傷深度預(yù)測(cè)模... （共11頁(yè)）