單晶金剛石襯底超精密加工損傷層無損測量與表征

摘要： 針對超精密加工后單晶金剛石襯底表面損傷層具有超薄(試驗僅幾個納米)且透明的特點，提出一種基于光譜橢偏的測量和表征方法，實現(xiàn)襯底損傷層厚度和折射率的無損測量和表征。首先，建立“粗糙層+純基底”兩層光學模型，利用離散型穆勒矩陣橢偏測量模式測量加工前籽晶襯底，分析測量數(shù)據(jù)獲得其光學常數(shù)，作為后續(xù)加工損傷層橢偏數(shù)值反演的基礎，以避免損傷層與襯底間橢偏參數(shù)耦合；然后，根據(jù)襯底加工后的特征... （共11頁）