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高質(zhì)量碲鎘汞雙層異質(zhì)結(jié)材料制備

激光與紅外 頁數(shù)： 5 2024-08-20
摘要： 本文重點(diǎn)介紹了富汞垂直液相外延技術(shù)，在對該技術(shù)進(jìn)行研究時(shí)，提出了一種溫場優(yōu)化方法和一種生長方法來提升材料質(zhì)量和工藝穩(wěn)定性。最后介紹基于雙層異質(zhì)結(jié)材料采用臺面結(jié)器件加工等碲鎘汞探測器組件制備方法，制備中波、長波和甚長波碲鎘汞探測器組件的進(jìn)展情況。 （共5頁）

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