機器人拋光M-ZnS去除函數建模與工藝參數優(yōu)化

摘要： 為研究M-ZnS在機器人拋光過程中的材料去除模型和優(yōu)化參數組合，探究M-ZnS光學元件的高精度、低成本、批量化制造方案，采用有限元法和數值仿真法，對M-ZnS的機器人拋光材料去除函數模型進行修正?；谟邢拊ń⒘藪伖獗P的壓力分布模型，采用曲線擬合方法得到了壓力分布函數。仿真模型和實驗數據對比表明，去除函數模型與實驗數據中心相對偏差小于8%，證實了修正去除函數模型的有效性。然后...