GaN基異質結霍爾傳感器封裝測試與輸出特性

摘要： 霍爾傳感器作為磁傳感領域最常用的傳感器類型，在工業(yè)生產、汽車電子、航空航天以及生物醫(yī)學等方面均有廣泛應用.本文利用寬禁帶氮化鎵（GaN）半導體耐高溫、高遷移率等優(yōu)點，采用標準半導體芯片制造工藝研制出AlGaN/GaN異質結結構霍爾傳感器.高溫應用環(huán)境下的傳感器要求封裝材料耐高溫、產生應力低以及對傳感器關鍵指標影響小.本文通過軟件仿真樹脂橡膠類3種不同封裝材料封裝后對傳感器及鍵合...