微納光柵MOEMS加速度計(jì)優(yōu)化設(shè)計(jì)與測(cè)試

摘要： 提出了一種基于微納光柵泰伯效應(yīng)的微光機(jī)電系統(tǒng)(MOEMS)加速度計(jì)，通過Comsol軟件對(duì)加速度計(jì)結(jié)構(gòu)和光柵結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化，使其在20g量程范圍內(nèi)獲得較大的結(jié)構(gòu)靈敏度和衍射效應(yīng)靈敏度，同時(shí)通過仿真分析了該結(jié)構(gòu)的交叉軸串?dāng)_情況。由于受外界溫度起伏影響，雙層光柵結(jié)構(gòu)間距受熱膨脹系數(shù)的影響產(chǎn)生相對(duì)位移。為了減小由于溫度起伏對(duì)光柵加速度計(jì)零偏的影響，采用溫度閉環(huán)反饋控制技術(shù)將加速度計(jì)...