基于單質(zhì)量塊微納光柵泰伯效應(yīng)的雙軸MOEMS加速度計

摘要： 對一種基于單質(zhì)量塊微納光柵泰伯效應(yīng)雙軸微光機電系統(tǒng)(MOEMS)加速度計進(jìn)行了設(shè)計、加工與測試。利用有限元分析和時域有限差分法分別對雙軸加速度計的敏感結(jié)構(gòu)和光柵參數(shù)進(jìn)行仿真優(yōu)化。在保證加速度計高集成度的同時，為了實現(xiàn)雙軸加速度的高精度測量，采用不同周期的兩組光柵進(jìn)行雙軸加速度檢測，通過磁控濺射工藝將兩組光柵結(jié)構(gòu)沉積在質(zhì)量塊的不同區(qū)域，最終通過陽極鍵合方式實現(xiàn)該雙軸MOEMS加速...