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Au修飾SnO2薄膜兼容型高響應(yīng)乙炔氣體傳感器研制

西安交通大學(xué)學(xué)報(bào) 頁數(shù)： 10 2024-05-20
摘要： 為了實(shí)現(xiàn)變壓器油中溶解的乙炔氣體檢測，研發(fā)了一款基于Au修飾SnO2氣敏薄膜的乙炔氣體傳感器。通過射頻濺射制備SnO2薄膜，進(jìn)而通過直流濺射制備Au并改變?yōu)R射時(shí)間，得到不同Au修飾量的氣敏薄膜，采用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)工藝開發(fā)了基于氣敏薄膜的乙炔氣體傳感芯片。對比純SnO2以及不同Au修飾量的SnO2氣敏薄膜的氣敏性能，結(jié)果顯示，基于20 s-Au修飾的SnO2薄膜...

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