超冷離子源研究進展

摘要： 納米離子束是制備束斑直徑在微納米尺度荷能離子束的先進技術,主要應用于高分辨和高精度的離子束分析、離子束加工和離子束材料改性研究,在材料分析、微納加工、微電子器件制造和量子計算等方面發(fā)揮著重要的作用.高品質離子源作為納米離子束裝置的關鍵部件,其性能指標直接決定著該裝置的技術水平.然而,目前常用的傳統離子源存在離子種類單一、能散高和結構復雜等問題,已經難以滿足新應用場景下的多離子種... （共20頁）