PVT法AlN晶體生長(zhǎng)模式調(diào)控研究

摘要： 物理氣相傳輸(PVT)法制備AlN晶體時(shí)，亞晶的產(chǎn)生會(huì)降低晶體質(zhì)量，甚至多晶化。本文通過(guò)調(diào)節(jié)熱/動(dòng)力學(xué)生長(zhǎng)條件，研究AlN晶體中亞晶產(chǎn)生及變化規(guī)律，提出抑制方法調(diào)控生長(zhǎng)模式。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，大的溫度波動(dòng)導(dǎo)致晶體表面氣相物質(zhì)過(guò)飽和度波動(dòng)變大，增加高指數(shù)晶面的形成概率，這些晶面因非一致性難以實(shí)現(xiàn)完美聚并。本文還研究了穩(wěn)定溫場(chǎng)條件下，氣相物質(zhì)輸運(yùn)對(duì)生長(zhǎng)模式的影響。實(shí)驗(yàn)及模擬結(jié)果顯示，傳...