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一種雙工位NEG吸氣性能測試裝置設(shè)計(jì)

真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報 頁數(shù)： 9 2024-01-24
摘要： 文章設(shè)計(jì)了可選擇定壓法或定容法測量非蒸散型吸氣劑（NEG）吸氣性能的測試裝置，裝置設(shè)計(jì)有兩個結(jié)構(gòu)對稱的測試工位，可同時對兩個測試樣品進(jìn)行預(yù)處理和性能測試，裝置結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理緊湊，測試效率高。測試裝置可直接通過軟件輸出吸氣速率和吸氣量等性能參數(shù)。測試結(jié)果表明該裝置本底真空度高，其中樣品室真空度優(yōu)于1×10-7 Pa，漏放氣速率小于3×10-7 Pa·L/s；測試數(shù)據(jù)精度... （共9頁）

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