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WO3敏感電極的制備及其性能研究

真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào) 頁數(shù)： 8 2023-11-17
摘要： 邁向微型化、集成化及具有高選擇性和靈敏度的固體電解質(zhì)氣體傳感器已成為未來的發(fā)展趨勢(shì)。文章采用磁控濺射法成功制備了WO3氣體傳感器敏感電極材料，并通過X射線衍射（XRD）、掃描電子顯微鏡（SEM）、X射線光電子能譜（XPS）等表征手段研究了WO3的結(jié)構(gòu)、成分和形貌并測(cè)試了該氣體傳感器對(duì)NO2的氣敏性能。XRD結(jié)果表明，當(dāng)退火溫度大于400℃時(shí)，WO3出現(xiàn)（200）衍射峰，...

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