光柵干涉位移傳感器信息解算方法研究

摘要： 面向光柵干涉式位移傳感器信號(hào)高精度解算的需求，提出了一種基于橢圓擬合補(bǔ)償及反正切算法的位移解算改進(jìn)方法。采用傅里葉變換及標(biāo)準(zhǔn)化橢圓參數(shù)擬合法對(duì)信號(hào)誤差估計(jì)，通過(guò)構(gòu)建線性誤差補(bǔ)償模型對(duì)帶誤差信號(hào)進(jìn)行正交補(bǔ)償，結(jié)合反正切算法對(duì)信號(hào)進(jìn)行線性化處理，實(shí)現(xiàn)高精度位移解算讀出。Matlab仿真結(jié)果表明，該方法對(duì)信號(hào)正交補(bǔ)償效果顯著，線性化處理算法解算位移最大相對(duì)誤差小于0.2%。為提高光柵...