基于大高寬比CD-AFM探針的設(shè)計與制備

摘要： 針對傳統(tǒng)原子力顯微鏡(AFM)探針和關(guān)鍵尺寸原子力顯微鏡(CD-AFM)探針受限于針尖有效掃描高度較低，無法對深溝槽和大懸垂側(cè)壁結(jié)構(gòu)進行精準掃描成像的問題，提出了一種大高寬比針尖結(jié)構(gòu)的新型CD-AFM探針設(shè)計與制備方案。開發(fā)的新型CD-AFM探針針尖有效高度為5.1～5.8μm,高寬比達到14,相較于傳統(tǒng)硅基CD-AFM探針，其有效高度提升了約4倍。利用開發(fā)的探針完成了標稱深度...