一種提高氮化鎵高壓功率器件動(dòng)態(tài)可靠性的快速篩選方法

摘要： 為了快速篩選出由電流崩塌、閾值漂移導(dǎo)致失效的氮化鎵(GaN)器件，提出了一種基于晶圓測(cè)試的創(chuàng)新篩選方法，旨在更好地篩選出高可靠性的650 V增強(qiáng)型GaN功率器件，在封裝之前消除固有缺陷導(dǎo)致的動(dòng)態(tài)失效，解決實(shí)際應(yīng)用中的動(dòng)態(tài)可靠性問題。詳細(xì)介紹了快速篩選的基本原理，并通過電子器件工程聯(lián)合委員會(huì)(JEDEC)可靠性測(cè)試、動(dòng)態(tài)高溫工作壽命(DHTOL)測(cè)試和加速開關(guān)壽命試驗(yàn)(SALT)...