二維高帶寬低耦合納米定位平臺(tái)設(shè)計(jì)與實(shí)驗(yàn)

摘要： 納米尺度研究的發(fā)展對(duì)原子力顯微鏡的核心運(yùn)動(dòng)部件——納米定位平臺(tái)的定位精度與掃描速度提出了更高要求。針對(duì)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)耦合與諧振頻率兩項(xiàng)關(guān)鍵性能展開(kāi)研究，設(shè)計(jì)了一種新型基于壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的二維高帶寬低耦合納米定位平臺(tái)。結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上，首先提出高剛度并聯(lián)解耦結(jié)構(gòu)，然后基于內(nèi)外側(cè)柔性鉸鏈剛度解耦假設(shè)，確立了高剛度低耦合設(shè)計(jì)方案。為進(jìn)一步提升平臺(tái)諧振頻率，建立尺寸參數(shù)優(yōu)化模型，以平臺(tái)一階諧振頻率為...