觸針式表面形貌測量儀探針幾何特性引起的失真機理與識別方法

摘要： 觸針式表面形貌測量儀廣泛應(yīng)用于表面粗糙度、幾何形狀和波紋度等參數(shù)的測量，但探針與被測表面交互時所產(chǎn)生的卷積效應(yīng)會導(dǎo)致測量結(jié)果的失真。通過分析探針幾何特性引起的失真機理，將失真按其特性分為典型失真和復(fù)雜失真。針對探針球形針尖和錐角復(fù)合效應(yīng)引起的失真現(xiàn)象，提出了一種復(fù)雜失真的多模態(tài)識別方法。實驗結(jié)果表明：相較于形貌測量儀單模態(tài)識別典型失真的限制，該方法可以有效識別形貌測量結(jié)果中的復(fù)...