一種新的大行程垂直納米運動工作臺設(shè)計與控制研究

摘要： 在大行程高精度垂直運動中，工作臺的設(shè)計及穩(wěn)定控制是關(guān)鍵因素。因此設(shè)計一種新型的具有平衡機構(gòu)的工作臺，以實現(xiàn)垂直方向上大行程納米穩(wěn)定運動。所研究工作臺采用N331壓電直線電機獨立驅(qū)動，通過空氣靜態(tài)導(dǎo)軌懸浮，設(shè)計Z軸平衡系統(tǒng)降低垂直向電機驅(qū)動負(fù)載。利用步進控制方式完成大行程驅(qū)動，模擬方式實現(xiàn)微位移精密驅(qū)動控制。所提出的驅(qū)動與控制策略，可實現(xiàn)100 mm垂直方向上高精度快速精密驅(qū)動。...