光譜共焦顯微技術(shù)研究進(jìn)展
激光與光電子學(xué)進(jìn)展
頁數(shù): 13 2024-03-23
摘要: 光譜共焦顯微技術(shù)結(jié)合了共焦顯微鏡的高空間分辨率和光譜分析的高波長分辨率,憑借精度高、適用性強(qiáng)、無損檢測等特性,廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)、生物醫(yī)療和半導(dǎo)體芯片等領(lǐng)域。首先介紹點(diǎn)光譜共焦系統(tǒng)的原理,指出點(diǎn)光譜共焦檢測效率低的缺點(diǎn)。其次,針對光譜共焦顯微技術(shù)的關(guān)鍵性能指標(biāo)改善,闡述了在光源、色散物鏡和光譜信號檢測等方面所取得的主要成果,并對各類光源進(jìn)行定性對比。隨后展示光譜共焦顯微技術(shù)的掃...