基于矢量衍射理論的光柵干涉儀位移測量誤差研究

摘要： 光柵干涉儀位移測量系統(tǒng)作為測量領域中最精密的測量儀器之一，由于在測量過程中光柵的姿態(tài)位置無法保證完美裝配，使得光柵的光柵矢量方向與運動矢量方向之間出現(xiàn)偏差，導致位移測量結果出現(xiàn)周期性非線性誤差。文中針對在光柵干涉儀位移測量過程中出現(xiàn)的光柵與位移臺以及讀數(shù)頭之間的姿態(tài)位置誤差進行分析，通過分別建立位移坐標系及光柵坐標系，參考慣性導航領域中飛行器姿態(tài)表示方法，利用一維光柵的橫滾、俯...