傾斜入射下超透鏡亞波長聚焦特性研究

摘要： 亞波長聚焦透鏡被廣泛應(yīng)用于光學(xué)顯微、成像和光刻等光學(xué)領(lǐng)域，具有亞波長結(jié)構(gòu)的聚焦光場在傾斜入射下存在著嚴(yán)重影響光學(xué)成像質(zhì)量的軸外像差。文章展示了一種高數(shù)值孔徑(0.970)的光學(xué)超透鏡設(shè)計(jì)方法，利用具有寬角度響應(yīng)超原子的光場調(diào)控功能，結(jié)合孔徑對傾斜入射光場的矯正，可同時滿足傾斜入射時亞波長緊聚焦和寬帶操作。數(shù)值仿真結(jié)果表明，在帶有5μm孔徑的超透鏡中，可在傾斜入射角±30°范圍內(nèi)...