超高精度棱鏡的加工和檢測技術(shù)研究

摘要： 棱鏡是空間和軍用白光、紅外光學(xué)系統(tǒng)中的關(guān)鍵元件之一，能夠在光學(xué)系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)更高精度的成像質(zhì)量，故提出了超高精度棱鏡的加工和檢測技術(shù)。首先，分析了適用于棱鏡加工的工裝材料及加工方法，指出了超高精度棱鏡加工的難點(diǎn)和關(guān)鍵點(diǎn).然后，介紹了超高精度棱鏡加工的工裝制作、棱鏡粘接、加工、檢測方法，以及預(yù)防損害棱鏡工裝的防護(hù)措施。最后，通過加工總高為35～95mm的施密特硒化鋅棱鏡，用Zygo干...