基于低粘度硅油波動(dòng)的動(dòng)態(tài)干涉儀誤差標(biāo)定

摘要： 液面絕對(duì)檢驗(yàn)法通常以高粘度液體平面作為基準(zhǔn)標(biāo)定光學(xué)平晶的平整度，基準(zhǔn)液面的穩(wěn)定時(shí)間及受干擾后恢復(fù)時(shí)間長。文章提出動(dòng)態(tài)液面絕對(duì)檢驗(yàn)法，采用動(dòng)態(tài)干涉儀測(cè)量低粘度硅油表面的動(dòng)態(tài)面形，將其平均值作為基準(zhǔn)面，用于標(biāo)定干涉儀的系統(tǒng)誤差?；诙嗑S模態(tài)分析原理，建立液面波動(dòng)模型，使用有限元法進(jìn)行仿真。仿真結(jié)果顯示，動(dòng)態(tài)液面是以地球半徑對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)液面為基準(zhǔn)的垂直波動(dòng)，振幅呈余弦形式。液面平整度在...