基于卡爾曼濾波的激光外差干涉位移測(cè)量誤差補(bǔ)償

摘要： 針對(duì)激光外差干涉儀測(cè)量過(guò)程中測(cè)量鏡隨被測(cè)對(duì)象旋轉(zhuǎn)而導(dǎo)致的位移測(cè)量誤差，提出了一種基于卡爾曼濾波的激光外差干涉位移測(cè)量補(bǔ)償方法。根據(jù)測(cè)量鏡轉(zhuǎn)角和測(cè)量光束光斑位置變化對(duì)應(yīng)關(guān)系，利用位置敏感探測(cè)器（PSD）和位置電壓信號(hào)卡爾曼濾波方法測(cè)得降噪后的光斑位置變化，從而獲得更為準(zhǔn)確的轉(zhuǎn)角測(cè)量結(jié)果，最后根據(jù)轉(zhuǎn)角與位移的解耦數(shù)學(xué)模型利用測(cè)得的轉(zhuǎn)角進(jìn)行位移補(bǔ)償。為驗(yàn)證濾波算法和位移補(bǔ)償方法的可行...