熱振子式Z軸MEMS角速度陀螺敏感機(jī)理的研究

摘要： 揭示了一種熱振子式Z軸MEMS角速度陀螺的敏感機(jī)理。在給出工作原理、熱振子的振動(dòng)模態(tài)和陀螺效應(yīng)的基礎(chǔ)上，對(duì)敏感結(jié)構(gòu)內(nèi)的溫度場(chǎng)進(jìn)行了計(jì)算。結(jié)果表明：(1)開機(jī)1.8 s后在敏感結(jié)構(gòu)內(nèi)形成一個(gè)穩(wěn)定的溫度場(chǎng)。(2)熱振子在Y方向建立驅(qū)動(dòng)模態(tài)，當(dāng)沿著Z軸輸入角速度時(shí)，在哥氏力的作用下熱振子沿著X方向移動(dòng)，造成溫度場(chǎng)偏移，X方向上對(duì)稱平行設(shè)置的兩熱線溫差ΔT_X隨著輸入加速度a_z的加大...