一種用于MEMS加速度計溫度性能提升的雙質量全差分結構

摘要： 微電子機械系統(tǒng)(MEMS)加速度計作為應力敏感器件，很容易受到外界應力的影響，尤其是對溫度應力非常敏感，MEMS加速度計的溫度性能成為了制約加速度計性能提升的關鍵因素。為了提高MEMS加速度計的溫度性能，減小溫度漂移，提出了一種新型的雙質量、全差分MEMS敏感結構方案。通過雙質量的差分效果，可以將外界溫度變化引起的變形差分掉，從而降低加速度計的溫度系數，提高溫度性能。利用有限元... （共6頁）