超薄超短物像距高分辨率檢測成像系統(tǒng)設(shè)計(jì)與試驗(yàn)

摘要： 為縮短12寸晶圓檢測成像系統(tǒng)的軸向和徑向尺寸，提出一種小角度棱鏡折轉(zhuǎn)光路與超短物像距鏡頭相結(jié)合的解決方法。設(shè)計(jì)優(yōu)于1/12λ（λ=632.8 nm）面形精度的小角度棱鏡折轉(zhuǎn)光路，實(shí)現(xiàn)照明系統(tǒng)與成像鏡頭的水平布置，徑向尺寸僅為80 mm，在保證不影響系統(tǒng)成像質(zhì)量的前提下，極大地降低了整個(gè)系統(tǒng)的徑向尺寸，同時(shí)也實(shí)現(xiàn)了12°的小角度明場照明。設(shè)計(jì)放大倍率為0.264的對(duì)稱混合型光學(xué)系...