高次凸非球面補償檢驗方法研究

摘要： 高次凸非球面鏡是光學系統(tǒng)中至關重要的元件,通常作為次鏡來補償光學系統(tǒng)的軸外像差,但其檢驗方法一直是一大難點。基于背向零位檢測方法,提出利用三透鏡與單折射面組合的形式來補償高次非球面的法線像差。首先選取高次非球面的二次比較面來簡化計算,基于三級像差理論求解系統(tǒng)的初始結構,對高次非球面的法線像差進行補償，使用ZEMAX軟件仿真與優(yōu)化后,設計結果完全滿足要求。隨后結合一塊有效通光口徑...