基于高階抑制達(dá)曼光柵的微透鏡陣列焦距的快速測量

摘要： 提出了一種用高階抑制二維達(dá)曼光柵作為分光元件替代普通衍射光柵實現(xiàn)微透鏡陣列焦距快速測量的方法。高階抑制二維達(dá)曼光柵具有優(yōu)良的分光效果，且高階衍射級次能夠得到有效抑制，通過信噪比的提高降低焦距測量誤差。設(shè)計并制備了一分五的高階抑制二維達(dá)曼光柵，分束后的光束經(jīng)過微透鏡，在其焦面附近形成高對比聚焦光斑陣列。相比常規(guī)一維光柵，所提方法通過測量每個微透鏡焦面內(nèi)光斑兩兩之間的距離，得到多個...