微柱鏡面周期性紋理結(jié)構(gòu)衍射雜散光研究

摘要： 為分析車床加工百微米級口徑微柱透鏡時遺留周期性刀紋產(chǎn)生的雜散光影響，構(gòu)建了周期結(jié)構(gòu)模型，分析了表面周期性紋理結(jié)構(gòu)對衍射雜散光的影響。利用傅里葉光學(xué)理論建立了該結(jié)構(gòu)的衍射理論模型，計算了在不同深度下的衍射光場強度分布規(guī)律，所獲得的理論結(jié)果與商業(yè)光學(xué)軟件VirtualLab的物理光學(xué)仿真和實驗測試結(jié)果基本一致，實現(xiàn)了對理論模型的理論與實驗驗證，為進一步解決該類光學(xué)器件中周期性加工刀...