1.5.4 工業(yè)等離子體的磁約束

所屬欄目：等離子體科學(xué)技術(shù)

1.5.4 工業(yè)等離子體的磁約束

工業(yè)用直流和射頻輝光放電都因使用磁場(chǎng)而得到改善。①磁約束可提高功率利用率并提高直流或射頻輝光放電的數(shù)密度。②在等離子體或離子源中,要求盡可能多的電離氣流,磁場(chǎng)還能提高質(zhì)量利用率。③與壁平行的磁場(chǎng)能減少帶電粒 ......（本文共 2611 字 , 12 張圖）     [閱讀本文] >>


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