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 4.4.1 負性光刻膠化學負性膠是光照區(qū)域的光刻膠溶解度下降,傳統(tǒng)光誘發(fā)化學過程包括聚合物鏈間的交聯(lián),圖像反轉,在光刻膠基質中使用催化劑來促進交聯(lián)反應。雙組分交聯(lián)光刻膠 在半導體工業(yè)的早期(1957~1970年)電路的最小特征 (共 7237 字) [閱讀本文] >>
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 4.4.1 負性光刻膠化學負性膠是光照區(qū)域的光刻膠溶解度下降,傳統(tǒng)光誘發(fā)化學過程包括聚合物鏈間的交聯(lián),圖像反轉,在光刻膠基質中使用催化劑來促進交聯(lián)反應。雙組分交聯(lián)光刻膠 在半導體工業(yè)的早期(1957~1970年)電路的最小特征 (共 7237 字) [閱讀本文] >>