1.2.1 薄膜應(yīng)力的形成及分類

從作用方向上來(lái)看。薄膜應(yīng)力有張應(yīng)力和壓應(yīng)力之分。若薄膜具有沿膜面膨脹的趨勢(shì)則基底對(duì)薄膜產(chǎn)生壓應(yīng)力,如圖1-2-1(a)所示;相反,薄膜沿膜面的收縮趨勢(shì)造成張應(yīng)力,如圖1-2-1(b)所示。一般定義張應(yīng)力為正應(yīng)力,壓應(yīng)力為負(fù)應(yīng)力。過(guò) ......（本文共 1868 字 , 3 張圖）     [閱讀本文] >>