2.2.2 氣相制備技術(shù)

將一種或幾種組分在氣相中沉積到基體上也能得到非晶態(tài)固體。氣相物質(zhì)是通過加熱適當(dāng)化合物得到的。無(wú)化學(xué)反應(yīng)介入時(shí)稱為非反應(yīng)沉積(氣相冷卻技術(shù)),有化學(xué)反應(yīng)介入時(shí)則稱為反應(yīng)沉積。氣相冷卻技術(shù)通常用來(lái)制取電子和光學(xué) ......（本文共 847 字 , 3 張圖）     [閱讀本文] >>