在這一章里我們討論了薄膜CVD的不同方面,對化學氣相沉積工藝的關鍵特征和分子前驅體的化學和物理要求作了詳細說明。化學氣相沉積按順序被分成多步來進行描述,為了在工藝開發(fā)方面取得重要進步,必須控制和理解其中每一步。 (共 566 字) [閱讀本文] >>
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 在這一章里我們討論了薄膜CVD的不同方面,對化學氣相沉積工藝的關鍵特征和分子前驅體的化學和物理要求作了詳細說明。化學氣相沉積按順序被分成多步來進行描述,為了在工藝開發(fā)方面取得重要進步,必須控制和理解其中每一步。 (共 566 字) [閱讀本文] >>