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 微電子加工技術(shù)能夠在1cm2的面積內(nèi)制造出包含幾百萬個工作元件的復雜的平面結(jié)構(gòu),這種加工技術(shù)同樣適于用微米尺度的元件制造基本的平面力學機器。渦輪機葉輪是其中的一個例子,如圖3.7所示。這個放射式的流入渦輪機是采用 (共 215 字) [閱讀本文] >>
海量資源,盡在掌握
 微電子加工技術(shù)能夠在1cm2的面積內(nèi)制造出包含幾百萬個工作元件的復雜的平面結(jié)構(gòu),這種加工技術(shù)同樣適于用微米尺度的元件制造基本的平面力學機器。渦輪機葉輪是其中的一個例子,如圖3.7所示。這個放射式的流入渦輪機是采用 (共 215 字) [閱讀本文] >>