3.2.5 試樣厚度測定

所屬欄目：電子衍襯

3.2.5 試樣厚度測定

膜厚是測量點缺陷和位錯密度時,必不可少的數(shù)據(jù)。測量膜厚的方法很多[9],這里主要介紹幾種常用的方法:1.根據(jù)等厚消光條紋數(shù)進(jìn)行計算利用等厚消光條紋數(shù)目n和消光距離ξg,借助下述公式可以近似計算出條紋所在處的試樣厚度t:( ......（本文共 1094 字 , 2 張圖）     [閱讀本文] >>


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