五、立式接觸干涉儀

所屬欄目：機械制造檢測技術(shù)

立式接觸干涉儀是應(yīng)用光波干涉原理,采用比較法測量長度的高精度儀器。主要用于檢定尺寸小于120mm的2～4等量塊,也可對高精度零件的外尺寸作微差測量。儀器的外形如圖2-45所示。光學(xué)系統(tǒng)見圖2-46。圖2-45立式接觸干涉儀圖2-46立式 ......（本文共 529 字 , 2 張圖）     [閱讀本文] >>


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