1.2.2 薄膜內(nèi)應(yīng)力的力學(xué)模型

在薄膜中取一個微區(qū),其大小為Δx,Δy,Δz,如圖1-2-4所示[3,4]。圖1-2-4　薄膜中微區(qū)應(yīng)力取向示意圖在受力狀態(tài)下,一般可以表現(xiàn)為6個正應(yīng)力(應(yīng)力方向與坐標(biāo)軸平行,分別為σx,σy,σz,σ-x,σ-y,σ-z)和6個切應(yīng)力(取向位于坐標(biāo)軸垂直的平面內(nèi) ......（本文共 631 字 , 1 張圖）     [閱讀本文] >>