晶元(Wafer),是生產(chǎn)集成電路所用的載體,多指單晶硅圓片。 單晶硅圓片由普通硅砂拉制提煉,經(jīng)過(guò)溶解、提純、蒸餾一系列措施制成單晶硅棒,單晶硅棒經(jīng)過(guò)拋光、切片之后,就成為了晶元。晶元是最常用的半導(dǎo)體材料,按其直徑分為4英寸、5英寸、6英寸、8英寸、12英寸14英寸、15英寸、16英寸、……20英寸以上等。晶元越大,同一圓片上可生產(chǎn)的IC就越多,可降低成本;但要求材料技術(shù)和生產(chǎn)技術(shù)更高。
晶元(Wafer)
晶元(Wafer),也稱磊晶、晶圓、藍(lán)寶石襯底、外延片。是生產(chǎn)集成電路所用的載體,多指單晶硅圓片。多用于顯示照明及LED行業(yè)。
單晶硅圓片由普通硅砂拉制提煉,經(jīng)過(guò)溶解、提純、蒸餾一系列措施制成單晶硅棒,單晶硅棒經(jīng)過(guò)拋光、切片之后,就成為了晶元。晶元是最常用的半導(dǎo)體材料,
晶片, 圓片,是半導(dǎo)體組件"晶粒"或"芯片"的基材,從拉伸長(zhǎng)出的高純度硅元素晶柱 (Crystal Ingot)上,所切下之圓形薄片稱為"晶圓"。之后采用精密"光罩"經(jīng)感光制程得到所需的"光阻",再對(duì)硅材進(jìn)行精密的蝕刻凹槽,及續(xù)以金屬之真空蒸著制程,而在各自獨(dú)立的"晶?;蛐酒?quot;(Die,Chip)上完成其各種微型組件及微細(xì)線路。至于晶圓背面則還需另行蒸著上黃金層,以做為晶粒固著(Die Attach) 于腳架上的用途。以上流程稱為Wafer Fabrication。早期在小集成電路時(shí)代,每一個(gè)6吋的晶圓上制作數(shù)以千計(jì)的晶粒,次微米線寬的大型VLSI,每一個(gè)8吋的晶圓上也只能完成一兩百個(gè)大型芯片。Wafer的制造雖動(dòng)輒投資數(shù)百億,但卻是所有電子工業(yè)的基礎(chǔ)。
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