光電子能譜儀

　　主要用途

　　1.XPS測定 2.XPS成象 3.深度剖析 4.微區(qū)分析 5.角分辨XPS 可應用于各種固體材料表面（界面）的元素及化學態(tài)的定性、半定量、結(jié)構(gòu)分析及化學鍵研究。

　　儀器類別

　　03030707 /儀器儀表 /成份分析儀器

　　指標信息

　　空間分辨（μ） 能量分辨（eV) 靈敏度(CPS) 大面積 1.0 4×106 大面積 0.5 4×105 30 1.0 8×103 30 0.5 2×103 20 1.4 2.2×103

　　附件信息

　　1.X-射線單色器 2.氬離刻蝕槍 3.電子中和槍 4.樣品加熱裝置（1000k) 5.五軸向樣品旋轉(zhuǎn)裝置, 中國科學研究院化學研究所電子能譜實驗室已從事該領(lǐng)域工作二十多年，積累了相當豐富的經(jīng)驗，完成中國科學院科研課題、國家重大科研課題及國家自然科學基金等項目多項，并為所內(nèi)外提供XPS分析測試服務，年均實驗機時大于1200小時。